Надвисокочастотний генератор плазми, який включає два джерела НВЧ потужності, два вентилі, хвилеводи, газорозрядну камеру, згідно з корисною моделлю як резонатор використовуються резонатори типу “розрізане кільце”, які розміщуються вздовж поверхні вихідної сітки на відстані до 50 мм від неї.
Comments are closed