Об’єктом винаходу, що заявляється, є спосіб виготовлення сенсора парів гідроксиду амонію, що може знайти широке застосування для визначення вмісту аміаку у повітрі та в ґрунті. Аміак потрапляє в повітря за різних обставин, зокрема:
- під час його синтезу або використання на відповідних виробництвах;
- при транспортуванні продуктів, що містять аміак, зокрема добрив;
- з видихом пацієнтів, що страждають, наприклад, на цироз печінки, ниркову недостатність або інфекцію Helicobacter pylori тощо. Ґрунт може містити аміак:
- якщо відбулися виливи з ємностей, де знаходиться аміак,
- в результаті розкладання добрив, внесених для стимуляції росту рослин і т.і.
Винахід стосується способу виготовлення сенсора парів гідроксиду амонію придатного для використання в сільському господарстві, в хімічній промисловості, системах моніторингу якості повітря та медичних приладах для діагностування хвороб через подих людини. Спосіб, в якому пластини Si p-типу з орієнтацією <100> та питомим опором 1-10 Ом•см очищають за допомогою технології RCA очищення, на поверхні пластин формують газочутливий шар методом металостимульованого травлення в два етапи, на першому етапі на пластину Si наносять металевий каталізатор у вигляді наночастинок срібла, на другому етапі проводять травлення пластин Si під каталізатором, і таким чином формують газочутливий шар, до складу якого входить масив кремнієвих нанониток, після чого з поверхні кремнієвих нанониток видаляють залишки срібла та осаджують електроди на газочутливому шарі. Газочутливий шар виконують методом металостимульованого хімічного травлення, а отримані нанонитки додатково протравлюють з використанням ізотропного травника складу HF/HNO3/CH3COOH у співвідношенні 1:4:4 за кімнатної температури протягом 5 хв з утворенням наноотворів в структурі нанониток і формуванням наноструктури на їх поверхні, а далі виконують дифузію фосфором для формування p-n переходу всередині наноструктур, причому на першому етапі наночастинки срібла були осаджені на кремнієву поверхню у розчині порошку нітрату срібла в суміші H2O та плавикової кислоти, тривалість першого етапу синтезу масиву кремнієвих наноструктур становила 20 с, на другому етапі синтезу масиву наноструктур здійснювали металостимульоване хімічне травлення під наночастинками срібла пластини Si у розчині на основі перекису водню і тривалість другого етапу становила 90 хв, а для видалення з поверхні масиву кремнієвих нанониток наночастинок срібла, що залишилися після операції металостимульованого хімічного травлення, проводили операцію занурення сенсора у концентровану кислоту HNO3 на 1 год. Отриманий даним способом сенсор має високу чутливість та покращену швидкодію