Винахід належить до галузі машинобудування і стосується процесів, пов’язаних з дифузійним насиченням поверхневого шару деталей хімічними елементами з іонгенеруючого тліючого розряду.
Спосіб передбачає встановлення деталі у вакуумну камеру, а в деталь встановлюють коаксіально на всю довжину електрод-анод. На етапі розміщення деталі у вакуумній камері деталь підключають до негативного полюса першого джерела живлення, а електрод-анод – до його позитивного полюса, до обох торців електрода-анода підключають виводи другого джерела живлення змінного струму для його нагрівання та генерації азимутального знакозмінного магнітного поля в порожнині деталі з індукцією більше 1 мТл для магнітного сканування плазми вздовж деталі. Робочий газ подають безпосередньо в порожнину деталі. Її внутрішню поверхню обробляють у плазмі аномального тліючого розряду, нагрівають деталь за рахунок бомбардування іонами і додатково від гарячого електрода-анода. Також, представлено відповідний пристрій для здійснення запропонованого способу.
Винахід дозволяє підвищити рівномірність обробки внутрішньої поверхні деталі трубчастої форми та зменшити ймовірність її пошкоджень дуговим розрядом